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写真化学膜厚测量装置

简要描述:产地类别 进口 价格区间 面议 应用领域 化工,建材,电子,汽车,电气 写真化学膜厚测量装置分为:标准型号、红外透射式型号、自动映射膜厚仪、成像膜厚仪

  • 产品型号:反射/透射
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2023-10-22
  • 访  问  量:201

详细介绍

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写真化学膜厚测量装置

 

标准型号可测量膜厚对象:

抗蚀剂厚度

多孔膜

ITO

多晶硅

电池电极

玻璃粘合晶片

端点检测

贴合晶片等

 

自动映射膜厚仪

可测量膜厚对象:

抗蚀剂厚度

贴合晶片

多孔膜

ITO

多晶硅

电池电极

玻璃粘合晶片

带图案晶片等

 

分为:标准型号、红外透射式型号、自动映射膜厚仪、成像膜厚仪

 

写真化学膜厚测量装置

通用型膜厚监视器(标准型号)

可用作端点监视器

也可以对应粘接剂层、玻璃层等通常较难测量的材料

 

通用型膜厚监视器(红外透射式型号)

对应反射弱的薄膜材料

可对应卷对卷测量

 

自动映射膜厚仪

除了高速自动映射、等高线、3D图显示之外,还自动解析直方图等统计信息

标准对应φ100300mm的圆形晶圆,也可对应方形被测物等特殊形状,可选配定制载物台板

可对应选配项目中的自动校准

 

成像膜厚仪

微细二维膜厚分布原位的可视化

通过在GUI上区域,计算微小区域的膜厚


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